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Anlagen zur Halbleiter- und LCD-Fertigung

Würfler

 

Anlagen für die Herstellung von Halbleitern und LCD-Bildschirmen werden heute für die Fertigung aller Arten von elektrischen und elektronischen Geräten benötigt, etwa für Computer, Mobiltelefone und Flachbildschirmfernseher. Mit der Weiterentwicklung dieser Anlagen steigt die Leistungsfähigkeit der hergestellten Computer und Mobiltelefone. Gleichzeitig werden Flachbildschirmfernseher für jeden erschwinglich. Die Produkte von THK ermöglichen die sehr genaue Bewegungssteuerung und erfüllen damit das Anforderungsprofil solcher Hochtechnologieanwendungen.


Poliermaschinen für Glaskanten

Kompakte Kugelgewindetriebe und Linearführungen mit Kugelkette kommen in hocheffizienten Produktionssystemen zum Einsatz, mit denen LCD-Bildschirme für Fahrzeugnavigationssysteme und Mobiltelefone hergestellt werden.

Förderanlage für Glassubstrat

Wenn große Kristallglassubstrate schnell und exakt über größere Entfernungen transportiert werden sollen, werden außergewöhnliche Anforderungen an die Genauigkeit und Spurtreue gestellt, auch bei langen Hüben. Mit einer Kombination aus Linearführungen und Linearmotoren lassen sich diese Vorgaben erfüllen.

Tischmodule für LCD-Prüfplätze

Um die elektrischen Eigenschaften von Substraten für LCD-Displays zu prüfen, muss das Messgerät die Substrate über einen großen Bereich hinweg exakt positionieren können. Linearführungen und Kugelgewindetriebe, die für höchste Genauigkeit gefertigt sind, ermöglichen die exakte Nachführung und erhöhen die Effizienz der Fertigung, selbst wenn die Größe der Substrate zunimmt.

Trennsägen

Trennsägen vereinzeln die IC-Chips, die auf einem größeren Wafer produziert wurden. Hierbei kommen Laserschneidgeräte und sehr schmale Trennscheiben zum Einsatz, die an rotierenden Spindeln montiert sind. In den Führungs- und Antriebseinheiten, die sehr genau und stabil arbeiten müssen, werden Linearführungen und Kugelgewindetriebe verwendet. Die hochpräzise Technik von THK liefert in dieser Umgebung überragende Ergebnisse.

Verwendete Produkte

Linearführungen (Profilschienenführungen)

Linearführungen (Profilschienenführungen)

THK ist nicht nur anerkannter Pionier bei der Entwicklung von Linearführungen sondern auch weltweit führender Hersteller von Linearsystemen.

Kugelgewindetriebe

Kugelgewindetriebe

Bei den Kugelgewindetrieben rollen Kugeln zwischen der Gewindespindel und der Kugelgewindemutter ab und sichern so Bewegungen mit hohem Wirkungsgrad.


Verdrehgesicherte Wellenführungen

Verdrehgesicherte Wellenführungen

Verdrehgesicherte Wellenführungen sind innovative Linearsysteme, bei denen in der Keilwellenmutter Kugelumläufe integriert sind.

Schmierzubehör

Schmierzubehör

Eine Auswahl verfügbarer Produkte für die korrekte Schmierung von Maschinen.