測試
| X 光測試裝置 |
機具損壞偵測裝置 | 目視檢查裝置 |
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| 型號 KRF / LM 導軌 | 型號 ES | 型號 ES / 線性襯套 |
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KRF 可用於 CCD 攝影機的樣品工作台和 可動部分。 透過將單元結合上 R 導軌， 以從任何方向進行測試 |
將精巧的 ES 安裝於工具庫的剩餘空間內，即使在處理期間，也能在不影響加工的情況下偵測任何工具損壞狀況。 | ES 可用於配備 CCD 攝影機的目視檢查裝置。 將裝置結合上線性襯套，便可降低成本。 |
| PCB 連續性檢查系統 |
細胞檢查單元 |
亮度計測器 |
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| 型號 KRF | 型號 KRF / USW | 型號 SKR |
| KRF 可用於探針器的移動部分。 使用此高剛性的型號，可在不利條件下進行此項操作，並縮短週期時間。 | KRF 可用於夾頭的垂直運動單元，而 USW 則可用於橫向運動單元。 玻璃板往往脆弱易碎，必須非常小心處理，所以高剛性的 KRF 是合理的選擇。 | 計測器移動部中使用了SKR。由於測量中會要求精度，因此採用高精度、小型的SKR，成功實現了小型化。 |