KRF ใช้ในเครื่องยกเพื่อเปิดชิ้นงานบนเครื่อง CCD โดยใช้ร่วมกับ Curve Guide
|
ด้วยการติดตั้ง ES ขนาดเล็กในพื้นที่ว่างของช่องเครื่องมือ สามารถตรวจจับความเสียหายได้โดยไม่มีผลกระทบกับเครื่อง ในระหว่างการผลิต |
ES ใช้สำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบที่ติดตั้งกล้อง CCD และสามารถลดต้นทุนได้โดยใช้อุปกรณ์ร่วมกับลูกปืนสไลด์บนเพลาเกลี้ยง |