精密ステージ
X-Yステージやアライメントステージなど様々な精密ステージを取り揃えています。
XYシリーズ A/AX
精密研削された断面高さの低いＬＭガイドと精密ボールねじの採用により、高精度な位置決め送りのできる精密ＸＹステージです。専用サドルを使用しないＸＹの組合わせなので、ストロークは１軸ステージの組合わせで自由に選択できます。
中抜きXYステージ DX
案内部にクロスＬＭガイドＣＳＲ形を使用し駆動ボールねじをＣＳＲ形ブロックの外側に配置させ、中央の角穴が中抜き構造のサドルレスＸＹステージです。中抜きトップテーブルと中抜きベースの間にクロスＬＭガイドＣＳＲ形を高剛性フレームの四辺に配置したため、シンプル・高剛性で高さの低い構造が可能となりました。
高応答XYステージ EX
クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。
アライメントステージ CMX
ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスＬＭガイドＣＳＲとクロスローラーリングＲＵを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現した精密アライメントステージです。
小型アライメントステージ CHX
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