精密ステージ
X-Yステージやアライメントステージなど様々な精密ステージを取り揃えています。
![精密ステージ](./sites/default/files/thkcom/images/ja/products/class/unit/unit_00.jpg)
XYシリーズ A/AX
![XYシリーズ A/AX](./sites/default/files/thkcom/images/ja/products/class/unit/ax_c.jpg)
精密研削された断面高さの低いLMガイドと精密ボールねじの採用により、高精度な位置決め送りのできる精密XYステージです。専用サドルを使用しないXYの組合わせなので、ストロークは1軸ステージの組合わせで自由に選択できます。
中抜きXYステージ DX
![中抜きXYステージ DX](./sites/default/files/thkcom/images/ja/products/class/unit/dx_c.jpg)
案内部にクロスLMガイドCSR形を使用し駆動ボールねじをCSR形ブロックの外側に配置させ、中央の角穴が中抜き構造のサドルレスXYステージです。中抜きトップテーブルと中抜きベースの間にクロスLMガイドCSR形を高剛性フレームの四辺に配置したため、シンプル・高剛性で高さの低い構造が可能となりました。
高応答XYステージ EX
![高応答XYステージ EX](./sites/default/files/thkcom/images/ja/products/class/unit/ex_c.jpg)
クロスLMガイドCSR形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルXYステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、XY各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。
アライメントステージ CMX
![アライメントステージ CMX](./sites/default/files/thkcom/images/ja/products/class/unit/cmx_c.jpg)
ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスLMガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現した精密アライメントステージです。
小型アライメントステージ CHX
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