Miniaturführung AHR für hohe Beschleunigungen zur Steigerung der Produktionskapazität in der Halbleiterfertigung
Mit dem Modell AHR stellt THK eine neue Miniaturführung mit verstärkten und widerstandsfähigen Kugelumläufen vor. Diese ermöglicht einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb von bis zu 5 m/s bei einer maximalen Beschleunigung von bis zu 300 m/s². Dadurch werden die Anforderungen nach gesteigerter Produktivität in der Halbleiterfertigung erfolgreich erfüllt.
Abb. 1 Miniaturführung AHR für hohe Geschwindigkeit und Beschleunigung
Weiterhin ermöglicht die besondere Technologie von THK mit den vier im Führungswagen integrierten Kugelumläufen und den Kreisbogen-Laufrillen mit Zwei-Punkt-Kontakt der Kugeln einen besonders leichtgängigen Lauf der Wagen mit geringem Verschiebewiderstand.
Abb. 2 Niedriger Verschiebewiderstand dank Führungswagen mit vier Kreisbogenlaufrillen und Zwei-Punkt-Kontakt
Mit diesen besonderen Eigenschaften eignet sich die vierreihige Miniaturführung AHR hervorragend für Anwendungen im Back-End der Chipproduktion, wie z.B. Die Bonding und Wire Bonding. Der Typ AHR ist maßlich kompatibel mit marktüblichen zweireihigen Miniaturführungen, die Gotikbogen-Laufrillen verwenden. Die Standardgrößen 9, 12 und 15 sind mit jeweils drei verschiedenen Wagentypen verfügbar.